Gegenwärtig gilt das Ionenstrahl-Zerstäuben (Ion Beam Sputtering, IBS) als das Beschichtungsverfahren der Wahl, wenn im Bereich der optischen Beschichtungen höchste Qualitätsansprüche erfüllt werden müssen. In jüngster Zeit konnte das IBS-Verfahren durch Kombination mit neuen Prozesskontrolltechniken und Materialmischtechniken für die Herstellung von Rugate-Filtern mit kontinuierlichen Brechungsindexverläufen in seiner Anwendungsbreite noch einmal deutlich gesteigert werden.