Die Anwesenheit von Sauerstoff bewirkt beim Laser Powder Bed Fusion (LPBF) eine Bauteilversprödung und führt zu Oxidschichten mit verschlechterten Benetzungseigenschaften des Grundwerkstoffes. Zur Inertisierung der Prozessatmosphäre wird deshalb beim LPBF herkömmlicherweise Argon eingesetzt, wobei der Restsauerstoffgehalt bei Normaldruck weiterhin kritische Oxidationen bewirkt. Als neuartiger Ansatz verspricht eine Dotierung des Argons mit Monosilan (1,5 \% Monosilan in Argon) eine Verringerung des Restsauerstoffgehaltes in einen XHV-adäquaten Bereich (Extreme High Vacuum). Die veränderte Prozessatmosphäre und die Eigenschaften des Monosilans erfordern die Entwicklung einer speziellen Fertigungsanlage. In dieser Veröffentlichung wird dazu die Wechselwirkung des Gasgemisches mit verschiedenen Konstruktionsmaterialien und Ti-6Al-4V-Pulverwerkstoff in einer Versuchskammer untersucht. Dabei kann gezeigt werden, dass für die Konstruktion metallische Werkstoffe und glatte Oberflächen zu bevorzugen sind. Zur Vermeidung der Ablagerung von Reaktionsprodukten in der Prozesszone ist eine laminare Strömung anzustreben, welche durch Leitbleche und Wabenstrukturen erreicht werden kann. Hierzu wird die Gestaltung der Gasströmung in der Versuchsanlage mittels Strömungssimulation optimiert.