Mit verbesserten Varianten des Ionenstrahl-Zerstäubens und spektral breitbandiger Prozesskontrolle lassen sich besonders stabile optische Schichtsysteme für Hochleistungs- und Kurzpuls-Laser herstellen. So erreichen z.B. Gradientenschichtstapel eine bisher nicht realisierbare Zerstörfestigkeit.