Für die flächige Bearbeitung dünner Schichten mit einem Festkörperlaser wäre eine homogene Intensitätsverteilung zielführend. Dennoch wird in den meisten Fällen mit dem Gaußschen Strahlprofil gearbeitet. In dieser Arbeit werden daher zum Erreichen einer bestmöglichen Bearbeitungsqualität verschiedene Möglichkeiten zur Einstellung eines definierten Intensitätsprofils in der Praxis untersucht.