Entwicklung eines In-situ-Uniformitäts-Messgeräts und -Reglers für einen IBS-Prozess zur Verbesserung der Schichtdicken Uniformität

Ziel des Kooperationsprojekts ist die Entwicklung eines In-situ-Uniformitäts-Messgeräts, das es erlaubt, die in einem IBS-Beschichtungsprozess vorliegende Schichtdickenverteilung fortlaufend prozessbegleitend automatisiert zu bestimmen. Diese Information soll genutzt werden, um die optimale Konfiguration der Beschichtungsanlage für eine sehr gute Uniformität initial schneller und anschließend prozessbegleitend regelmäßig ein- bzw. nachzujustieren, live zu monitorieren und laufend zu dokumentieren.

Darüber hinaus soll ein auf dem Messsystem aufsetzender Regler entwickelt werden, der es erlaubt, die im Prozess bestimmte Schichtdickenverteilung durch Regelung von bestehenden, automatisiert verfahrbaren Freiheitsgraden der Beschichtungsanlage (z.B. Position der zu beschichtenden Optiken, Position von Verteilungsblenden, etc.) während der Beschichtung gezielt derart zu beeinflussen, dass die initial einjustierte optimale Uniformität auch über lange Prozesszeiträume, idealerweise dauerhaft, gehalten werden kann.

Das Projekt wird in Kooperation zwischen dem Laser Zentrum Hannover e. V. und der Cutting Edge Coatings GmbH durchgeführt.