In den vergangen Jahrzenten hat sich die Entwicklung von neuartigen Laserstrahl-quellen zu einem der Aspekte entwickelt, die maßgeblich zum industriellen und wis-senschaftlichen Fortschritt beitragen. Insbesondere die Hochleistungsstrahlquellen stellen einen wesentlichen Faktor für Innovationen in unterschiedlichsten Anwen-dungsbereichen dar, aber auch die Anwendung der Präzisionsoptik bestimmt in zu-nehmendem Maße den Fortschritt. Ein wesentlicher Faktor bei der Herstellung derar-tiger optischer Komponenten stellt die Dünnschichttechnologie dar, die bereits heute immer wieder an ihre Grenzen stößt. In der Vergangenheit wurde eine Vielzahl un-terschiedlicher Beschichtungsverfahren entwickelt und eine große Anzahl dieser Prozesse befindet sich in verschiedensten technischen Anwendungen im Einsatz. Diese Prozesse wurden auf empirischem Wege in Hinblick auf bestmögliche Schich-teigenschaften optimiert. Eine weitere deutliche Verbesserung der Beschichtungs-qualität scheint oftmals aufgrund einer Vielzahl von Prozessparametern unmöglich. Eine signifikante Qualitätssteigerung oder Optimierung der Beschichtungseffektivität kann nur durch ein verbessertes Verständnis des gesamtheitlichen Beschichtungs-prozesses erreicht werden.